Pulēšanas vircas pārvaldības sistēma
LSTD CP sērijas ķīmiskās mehāniskās pulēšanas mašīnas ir izstrādātas, lai apmierinātu precīzas ķīmiskās mehāniskās pulēšanas prasības pusvadītāju plāksnēm, piemēram, Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC un tā tālāk. Mašīnām ir gan dinamiska stabilitāte, gan pielāgota lietojumprogramma. Profesionāla projektēšanas komanda, procesu pētniecības un attīstības komanda un mašīnbūves komanda, kā arī kvalificētas nepieciešamās iekārtas nodrošina sekmīgu CP sērijas pusvadītāju iekārtu piegādi.
Pulēšanas vircas dozēšanas sistēma (CDS):
Tipiskas funkcijas:
▲ uzglabāšanas vadība neapstrādātu šķidruma mucu
▲ automātiska (attālināta) rezerves šķīduma transportēšana
▲ droša pamatšķīduma piegāde
▲ rezerves risinājumu piegādes sistēmas apkope bez izslēgšanas
Pulēšanas vircas sajaukšana un centrālā padeves sistēma:
Tipiskas funkcijas:
▲ pulēšanas šķīduma kvantitatīva atšķaidīšana
▲ pulēšanas šķīduma sajaukšana
▲pulēšanas šķidruma temperatūras kontrole
▲ pretkristalizācijas un pulēšanas šķidruma mucas un cauruļvada tīrīšanas funkcija
▲ gatavā pulēšanas šķidruma filtrēšana un attālināta transportēšana
▲ sistēmas apkope bez izslēgšanas
Pulēšanas vircas padeves un recirkulācijas sistēma:
Tipiskas funkcijas:
▲ pulēšanas šķīduma kvantitatīva atšķaidīšana
▲ pulēšanas šķīduma sajaukšana
▲pulēšanas šķidruma temperatūras kontrole
▲ pretkristalizācijas un pulēšanas šķidruma mucas un cauruļvada tīrīšanas funkcija
▲ gatavā pulēšanas šķidruma filtrēšana un attālināta transportēšana
▲ sistēmas apkope bez izslēgšanas
Populāri tagi: pulēšanas vircas pārvaldības sistēma, Ķīna pulēšanas vircas pārvaldības sistēmu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
Nākamo
nēJums varētu patikt arī
Nosūtīt pieprasījumu